積水化学 常圧プラズマ

真空を必要としない常圧プロセスのため、連続処理が可能でインライン化も容易

ガスを選ばず、プラズマを発生させることが可能

3種類のプラズマ発生方式により、様々な基材に対応可能

リモート方式プラズマを採用することにより、基材へ電気ダメージを与えずに処理が可能

常圧プラズマ発生原理

独自のプラズマ発生技術により、常圧下において均一なグロー放電プラズマの発生が可能

一般的常圧放電

当社常圧プラズマ

プラズマ処理方式

ダイレクト リモート スポット
処理イメージ
プラズマ照射方式 電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射 スリットからプラズマ
を噴き出して照射
局所的に
プラズマを照射
特 徴 高速処理対応 電気ダメージレス 超高密度プラズマによる
局所処理

ダイレクト

処理イメージ

プラズマ照射方式

電極間(プラズマ空間)に基板を直接投入して照射

特徴

高速処理対応

リモート

処理イメージ

プラズマ照射方式

スリットからプラズマを噴き出して照射

特徴

電気ダメージレス

スポット

処理イメージ

プラズマ照射方式

局所的にプラズマを照射

特徴

超高密度プラズマによる局所処理

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